Slurry混酸系統(tǒng)供應(yīng)柜

Category: 化學(xué)品設(shè)備

產(chǎn)品用途：適用于濕化學(xué)品介質(zhì)機(jī)械研磨CMP制程工藝供應(yīng)設(shè)備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據(jù)用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣

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　　2.1 產(chǎn)品概述

　　產(chǎn)品用途：適用于濕化學(xué)品介質(zhì)機(jī)械研磨CMP制程工藝供應(yīng)設(shè)備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據(jù)用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣

　　產(chǎn)品功能和原理：全自動(dòng)供酸；可根據(jù)客戶需求提供額外配置；原液Slurry空桶預(yù)報(bào)切換；原液供應(yīng)泵體一用一備；管道壓力檢測(cè)攪拌罐一用一備，泵體一用一備；簡(jiǎn)潔系統(tǒng)，并支持多種語(yǔ)言；觸屏可顯示各顆閥的工作狀態(tài)及管路供液狀態(tài)；系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)的預(yù)警及警報(bào)；多重安全性的自檢與確認(rèn)；自動(dòng)切斷供液；供液壓力過(guò)高，緊急切斷；支持多種信號(hào)輸入；裝備緊急按鈕。

　　優(yōu)點(diǎn)：多級(jí)密碼保護(hù);持續(xù)監(jiān)控多種重要數(shù)據(jù);根據(jù)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)自動(dòng)作出安全處理

　　產(chǎn)品應(yīng)用：產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造，平板顯示行業(yè)，LED 行業(yè)，太陽(yáng)能電池，電子元器件制造等行業(yè)，主要用于濕化學(xué)品介質(zhì)機(jī)械研磨CMP制程工藝供應(yīng)。

關(guān)鍵詞：

機(jī)械研磨

濕化學(xué)品

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