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全自動(dòng)氣體輸送柜(GC)
Category: 特氣設(shè)備
全自動(dòng)氣體輸送柜(以下簡(jiǎn)稱全自動(dòng)氣柜,英文簡(jiǎn)稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動(dòng)控制,并且能實(shí)現(xiàn)不間斷供氣。
1.1 產(chǎn)品概述
產(chǎn)品用途:全自動(dòng)氣體輸送柜(以下簡(jiǎn)稱全自動(dòng)氣柜,英文簡(jiǎn)稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動(dòng)控制,并且能實(shí)現(xiàn)不間斷供氣。
產(chǎn)品功能和原理:全自動(dòng)氣柜主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統(tǒng)、機(jī)柜、安全附件四部分組成,為全封閉 式結(jié)構(gòu),氣柜內(nèi)安裝兩個(gè)供氣鋼瓶,一用一備。工藝閥門盤面中的閥門元件可以調(diào)節(jié)氣源的壓力和流量;PLC 控制系統(tǒng)用于控制設(shè)備的自動(dòng)運(yùn)行和安全監(jiān)控,可以實(shí)現(xiàn)氣柜的全自動(dòng)運(yùn)行和自動(dòng)切換供氣鋼瓶;機(jī)柜為全 密封設(shè)計(jì),可以防止氣柜內(nèi)的有害氣體擴(kuò)散到外部環(huán)境中,起到防護(hù)作用;根據(jù)輸送的氣體特性,設(shè)備內(nèi)部 配置有火焰探測(cè)器、高溫傳感器等安全附件,當(dāng)設(shè)備內(nèi)出現(xiàn)異常或故障時(shí)設(shè)備發(fā)出報(bào)警信號(hào)或自動(dòng)停氣,可以保證設(shè)備和環(huán)境的安全。
優(yōu)點(diǎn):全自動(dòng)氣柜以彩色觸摸屏為交互界面,操作方便,易于維護(hù),設(shè)備頂部配有報(bào)警燈,便于巡檢人員觀察設(shè)備 運(yùn)行狀態(tài)。設(shè)備配置有遠(yuǎn)程監(jiān)控接口,可以在廠務(wù)監(jiān)控平臺(tái)中顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),剩余氣量等關(guān)鍵參數(shù),并 且可以遠(yuǎn)程關(guān)斷操作。
產(chǎn)品應(yīng)用:產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造,平板顯示行業(yè),LED 行業(yè),太陽(yáng)能電池,電子元器件制造等行 業(yè),主要用于輸送有毒,易燃可燃,腐蝕性,氧化性高純氣體。
1.2 產(chǎn)品細(xì)分系列與配置
系列名稱 |
主要配置 |
適用工況 |
通用配置 |
通用參數(shù) |
高壓- 帶流量 監(jiān)控系列 |
配置獨(dú)立高壓保壓 功能和過流量開關(guān) 的高壓氣柜 |
適用于>600psi 的高壓 易燃,毒性,腐蝕性氣體 或者低壓毒性氣體 |
觸摸屏+PLC 控制;遠(yuǎn)程監(jiān)控 和緊急關(guān)斷; 高溫傳感器; 火焰探測(cè)器(根據(jù)氣體可燃 性選擇配置); 風(fēng)閥; 抽風(fēng)負(fù)壓開關(guān); 三色報(bào)警燈; 消防噴淋接口 鋼瓶加熱,盤面管路加熱 ( 根據(jù)氣體特性選擇配 置); 鋼瓶電子秤(根據(jù)氣體特性 選擇配置); 自動(dòng)吹掃+自動(dòng)真空排氣;
配置出口擴(kuò)展閥; |
電源:AC22V 50HZ; 設(shè)備尺寸:寬*高* 厚 = 750*2240*700;
閥門管件規(guī)格: 1/4”,EP |
高壓- 無流量 監(jiān)控系列 |
配置獨(dú)立高壓保壓 功能,無過流量開 關(guān)的高壓氣柜 |
適用于>600psi 的高壓 不具備自燃,毒性,腐蝕 性特殊氣體 |
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中低壓- 帶流 量監(jiān)控系列 |
無高壓保壓功能, 配置過流量開關(guān)的 中低壓氣柜 |
適用于加熱后氣體壓力 在 14.5~600psi 的自燃, 腐蝕性,非毒性特殊氣體 |
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中低壓- 無流 量監(jiān)控系列 |
無高壓保壓功能, 配置過流量開關(guān)的 中低壓氣柜 |
適用于加熱后氣體壓力 在 14.5~600psi 的不具 備自燃,毒性,腐蝕性特 殊氣體 |
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低蒸汽壓系列 |
配置適用于低壓氣 體的調(diào)壓閥 |
適用于 蒸 汽 壓 小于 14.5psi 的特殊氣體 |
關(guān)鍵詞:
輸送設(shè)備
全自動(dòng)控制
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